超臨界微粒制備裝置包括：周期性定量壓力氣源模塊、密封噴射腔和超微噴嘴，其中：密封噴射腔固定設置于所述制備裝置的中心處，超微噴嘴位于密封噴射腔的側(cè)壁，周期性定量壓力氣源模塊包括位于同一軸線上依次相連設置的氣源連接器、緊固式聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器，旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器的輸出端分別與密封噴射腔和熔煉坩堝相連接。

　　微粒粒度分布窄、球形度高、適用性強、工藝流程短、可控性好、設備簡單、成本低和生產(chǎn)效率高等要求，周期性定量壓力氣源模塊包括位于同一軸線上依次相連設置的氣源連接器、緊固式聯(lián)軸器和旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器，旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器的輸出端分別與密封噴射腔和熔煉坩堝相連接。

　　氣體從氣源連接器通過聯(lián)軸器管道，進入旋轉(zhuǎn)定量氣體分配器在周期性轉(zhuǎn)動分割作用下定量分配至兩個支管道，一個支管道連接至密封噴射腔，腔內(nèi)熔體通過壓力差作用從密封噴射腔經(jīng)由超微噴嘴以定量均勻液段或均勻顆粒噴射，另一個支管道連接至熔煉坩堝為密封噴射腔補充等量體積的熔料。

　　超臨界微粒制備裝置在材料、化工、輕工、冶金、電子、生物醫(yī)學領域得到廣泛應用，利用超臨界流體制備細微粒子這一技術，可以進行顆粒、微球、微膠囊、多孔材料、脂質(zhì)體及其它微細材料的加工和制備，超細粒子的制備有多種方法，超臨界流體沉積技術作為一種高新技術，能夠更準確的控制結晶過程，能夠生產(chǎn)出平均粒徑很小的細微粒子，而且還可控制其粒度尺寸的分布，所以從超臨界溶液中進行沉積是一種很有前途的新技術。